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Diener 等離子去膠機

簡要描述:Diener 等離子去膠機 Tetra42特點:
便捷的觸摸屏操作界面
專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定
數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示

  • 所在城市:上海市
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新日期:2024-12-02
  • 訪  問  量:1654
詳細介紹
品牌其他品牌產地類別國產
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產業(yè),農業(yè)控制方式全自動控制(自動/手動切換)
工藝氣體O2、Ar、N2、CF4、SF6等工藝氣路1-10
流量計MFC真空腔體鋁合金350x350x350
真空腔體容積 42L樣品臺旋轉樣品臺
外形尺寸W600xD850xH1700mm

Diener 等離子去膠機 Tetra42

特點:

·便捷的觸摸屏操作界面

·專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權限分級設定

·數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實時顯示

·支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗

·安全及異常報警功能

·多語言:法語、英語,德語,中文

 

Diener 等離子去膠機 Tetra42用途

· 去除光刻膠

· 干刻或濕刻處理前或后

· SU-8或其他環(huán)氧基樹脂

· MEMS制造中去除犧牲層

· 去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂

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